一、背景概述

　　TCO 薄膜是一類特殊材料和工藝的鍍膜，它主要應(yīng)用于平板顯示器和建筑兩大領(lǐng)域。與其他類型的導(dǎo)電薄膜相比，氧化物透明導(dǎo)電膜不僅導(dǎo)電性好，而且還像玻璃一樣具有高的透明性，所以，可以把它看作一種用途十分廣泛的特征功能薄膜。這種氧化物透明導(dǎo)電薄膜用途十分廣泛，它的主要用途有：

　　1. 顯示器件中的電極材料。

　　2. 防靜電，防電磁屏蔽層。為了防止靜電，必須使方阻小于 109Ω。

　　3. 面發(fā)熱體。SnO2 薄膜的電熱轉(zhuǎn)換效率在 90%以上，通電后立即產(chǎn)生熱效應(yīng)。

　　4. 熱反射膜。SnO2 和 ITO 薄膜在紅外部分的反射率可達到 80%以上。

　　5. 太陽能電池。(1) SIS 異質(zhì)結(jié)太陽能電池;(2) 太陽能電池的減反射膜。

　　6. 薄膜電阻器。

　　7. 氣敏傳感器。現(xiàn)已能探測甲烷，CO、CO2、H2、H2S、乙醇等多種氣體和煙塵。

　　8. 終端設(shè)備。用透明導(dǎo)電薄膜制作薄膜開關(guān)。

　　9. 汽車玻璃。

　　用 Fotric 226-2 套裝進行測試(配備 50μm 微距鏡頭)

　　TCO薄膜的主要技術(shù)指標有光譜透過率、導(dǎo)電性能、霧度以及激光刻蝕性能。其中，在薄膜電池的制作過程中，需要將表面劃分成多個長條狀的電池組，這些電池組被串聯(lián)起來用以提高輸出能效。因此，TCO 玻璃在鍍半導(dǎo)體膜之前，必須要對表面的導(dǎo)電膜進行刻劃，被刻蝕掉的部分必須完全除去氧化物導(dǎo)電膜層，以保持絕緣。刻蝕方法目前有化學(xué)刻蝕和激光刻蝕兩種，但由于刻蝕的線條要求很細，一般為幾十微米的寬度，而激光刻蝕具有溝槽均勻，剔除干凈，生產(chǎn)效率快的特點。

　　二、客戶需要解決什么問題

　　研發(fā)人員需要驗證這類薄膜的印刷質(zhì)量和刻蝕工藝

　　是否存在斷裂、粘連等問題

　　其中白框內(nèi)兩線間距為 50 微米

　　三、當前有哪些解決方案及其弊端

　　對 TCO 薄膜通電，測試刻蝕質(zhì)量。采用測試溫度的方式測量，如果出現(xiàn)粘連或斷裂會出現(xiàn)不同的溫度變化。

　　熱電偶與數(shù)采使用熱電偶測溫準確，但是由于電池組較細，而且間距只有 50 微米寬，沒有辦法很好的粘貼；

　　熱線偶可能會導(dǎo)致通電時電路；

　　只能測量點或幾個點的溫度，沒有辦法找到整個薄膜上刻蝕的線斷裂部位或短路部位；

　　破壞了器件本身的熱場分布，尤其是小尺寸元器件;

　　熱電偶有溫度慣性，采集的溫度和實際溫度有滯后;

　　紅外測溫槍

　　紅外測溫槍使用方便，但問題也很多：

　　沒有辦法精確找到測量的部位，不能同時測試多個點;

　　不能直觀看到問題點;

　　被測部位很小，溫度會被平均;

　　四、Fotric 產(chǎn)品如何幫助客戶解決該問題及優(yōu)勢

　　對 TCO 薄膜通電，然后采用 Fotric 226 搭配 50 微米微距鏡觀看溫度變化，如果出現(xiàn)粘連可以看到高溫點，如果出現(xiàn)斷裂會有線路溫度較低。

　　Fotric 226 三合一熱像儀單張熱像圖即采集 110592 個溫度值，可以直觀看到問題點，高效率無盲區(qū)的查找問題。

　　Fotric 226 熱像儀可連接電腦，配合 AnalyzIR 專業(yè)軟件變身為在線熱像儀，而且搭配 Fotric B1 實驗臺測溫更穩(wěn)定。

　　五、配置方案

　　Fotric 226 三合一熱像儀，配 M50-226 微距鏡和 B1 研發(fā)測試臺。

　　六、哪些客戶需要解決該問題

　　薄膜印刷廠

　　電路印刷等